516系列
特點：
l 階差減小的高度從NO.1到NO.5。
l 相鄰階差校準的分辨率0.01μm，使用干涉儀的精度測量的線性偏差為±0.20μm
l 可選用鋼制型和陶瓷型。
l 階差規(guī)用于校準相鄰高度的精度。
性能參數(shù)
公制型
|
貨號
|
備注
|
|
516-198
|
鋼制型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm）
|
|
516-199
|
鋼制型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm）
|
|
516-498
|
陶瓷型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm）
|
|
516-499
|
陶瓷型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm）
|